特許
J-GLOBAL ID：200903088728493631
光学的形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 土屋 繁
, 西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-125601
公開番号（公開出願番号）：特開2005-308539
出願日： 2004年04月21日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 物体表面の周期的パターンを撮像した1枚の画像から例えば段差のような物体形状を正確に計測する。【解決手段】 周期パターンを有する物体表面の1枚の画像を得て、得られた周期パターンの位相から物体の形状を測定するために、周期パターンとして、高い周波数の周期波形(主キャリア)をより低い周波数の周期波形(長周期波)でAM変調したパターンを採用する(S1)。そして、それぞれの位相を取得(S2、S3)した後、長周期波における位相に基づいて主キャリアの位相を接続する(S4)ことにより、深い不連続段差であっても段差深さの計測(S5)を可能とする。【選択図】 図16
請求項（抜粋）：
測定対象の形状の情報を有する、長周期波で振幅変調された短周期パターンからなる1枚の画像信号を得るステップと、
前記1枚の画像信号から前記短周期における位相と前記長周期における位相を求めるステップと、
前記長周期における位相に基づいて、前記短周期における位相を接続するステップと、
前記接続された位相から前記測定対象の形状を計測するステップと
を有する光学的形状測定方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B11/24 E
, G01B11/24 A
, G01B11/24 G
2F065AA25
, 2F065AA49
, 2F065BB01
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065CC06
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065FF08
, 2F065GG04
, 2F065GG16
, 2F065HH05
, 2F065HH12
, 2F065JJ19
, 2F065LL08
, 2F065MM02
, 2F065NN08
, 2F065NN11
, 2F065QQ16
, 2F065QQ33
, 2F065UU05
