特許
J-GLOBAL ID:200903088736156881
セラミックス構造物及びセラミックス構造物の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
渡部 温
, 宇都宮 正明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-093221
公開番号(公開出願番号):特開2005-279953
出願日: 2004年03月26日
公開日(公表日): 2005年10月13日
要約:
【課題】 AD法によって形成されたセラミックス構造物において、熱応力によって基板が剥離したり、セラミックス厚膜又は基板が破損するのを防ぐ。 【解決手段】 このセラミックス構造物は、基板10と、セラミックス粉体を基板に向けて噴射して堆積させることにより形成された第1の空隙率を有する中間層11と、セラミックス粉体を中間層11に向けて噴射して堆積させることにより形成された、第1の空隙率よりも低い第2の空隙率を有する厚膜層12とを含む。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
セラミックス粉体を基板に向けて噴射して堆積させることにより形成された第1の空隙率を有するセラミックス層と、
セラミックス粉体を前記セラミックス層に向けて噴射して堆積させることにより形成された、第1の空隙率よりも低い第2の空隙率を有するセラミックス厚膜層と、
を具備するセラミックス構造物。
IPC (5件):
B28B1/32
, H01G4/12
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/24
FI (7件):
B28B1/32 G
, H01G4/12 394
, H01G4/12 400
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101B
, H01L41/22 A
, H01L41/08 C
Fターム (6件):
5E001AB03
, 5E001AB06
, 5E001AD05
, 5E001AH00
, 5E001AH02
, 5E001AJ02
引用特許:
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