特許
J-GLOBAL ID：200903088760656860

静電チャックの製造方法およびセラミックヒータの製造方法

発明者：
平松 靖二

平松 靖二 について

, 
伊藤 康隆

伊藤 康隆 について


出願人/特許権者：
イビデン株式会社

イビデン株式会社 について


代理人 (1件)： 安富 康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-083972
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274229
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：
【要約】【課題】 製造される静電チャックのチャック力に場所によるバラツキがなく、半導体ウエハを均一に吸着することが可能な静電チャックを製造することができる。【解決手段】 平均の厚さに対して厚さのバラツキが-10〜+10%の範囲にあるグリーンシートに電極用の導体ペーストを印刷し、次いで、前記グリーンシートに他のグリーンシートを積層して積層体を作製した後、焼結させることを特徴とする静電チャックの製造方法。
請求項（抜粋）：
平均の厚さに対して厚さのバラツキが-10〜+10%の範囲にあるグリーンシートに電極用の導体ペーストを印刷し、次いで、前記グリーンシートに他のグリーンシートを積層して積層体を作製した後、焼結させることを特徴とする静電チャックの製造方法。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  B28B 11/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20 393
FI (5件)：
H01L 21/68 R ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20 393 ,  B28B 11/00 Z ,  H01L 21/302 B
Fターム (43件)：
3K034AA02 ,  3K034AA03 ,  3K034AA04 ,  3K034AA06 ,  3K034AA08 ,  3K034AA16 ,  3K034AA21 ,  3K034AA34 ,  3K034BA02 ,  3K034BA06 ,  3K034BB06 ,  3K034BC22 ,  3K034BC29 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA01 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB04 ,  3K092QB18 ,  3K092QB30 ,  3K092QB44 ,  3K092QB61 ,  3K092QB75 ,  3K092QB76 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF26 ,  3K092RF27 ,  3K092VV22 ,  4G055AA08 ,  4G055AC01 ,  4G055AC09 ,  4G055BA22 ,  5F004AA01 ,  5F004BB22 ,  5F004BB26 ,  5F004BC08 ,  5F031HA03 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32
引用特許：
審査官引用 (1件)

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