ダイコータの塗布方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-156699
公開番号（公開出願番号）：特開平10-000421
出願日： 1996年06月18日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】「うねり」、「そり」、「厚みむら」を有するガラス基板Wに対して、均一な厚みにフォトレジスト液7を塗布する。【解決手段】平坦なテーブル12上にガラス基板Wを載置し、ガラス基板Wに対してダイコータ1を相対的に移動させてガラス基板W上に塗布を行うに際し、ダイコータ1に非接触式距離測定センサ3を設けてダイコータ1とガラス基板Wとの実ギャップを全塗布域で予め測定し、該全塗布域で実ギャップと基準ギャップHとの偏差を演算した後、塗布時該演算値に基づいてダイコータ1をガラス基板Wに対して基準ギャップHを一定に維持するように昇降させながら塗布する。

請求項（抜粋）：

平坦なテーブル上に基板を載置し、該基板に対してダイコータを相対的に移動させて上記基板上に塗布を行うに際し、上記ダイコータに距離測定器を設けて上記ダイコータと基板との実ギャップを全塗布域で予め測定し、該全塗布域で上記実ギャップと基準ギャップとの偏差を演算した後、塗布時該演算値に基づいて上記ダイコータを基板に対して昇降させながら塗布することを特徴とするダイコータの塗布方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

処理液塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-126610 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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