光導波路の作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-269862
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136754
出願日： 1994年11月02日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】変形が少なく偏波特性に優れた光導波路を作製する。【構成】クラッド層に添加されるドーパントは、ガラスの熱膨張係数を変化させる作用を有している。本発明の方法では、上部クラッド層に添加するドーパントの濃度を制御して、上部クラッド層の熱膨張係数を基板のそれと十分に近い値にすることにより、上部クラッド層を1.5×107 N・m-2以下の応力を有するガラス層として形成する。これにより、上部クラッド層の内部応力が十分に低くなる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された下部クラッド層と、この下部クラッド層の上に形成されたコアとを有する光導波路基体を用意する第1の工程と、この光導波路基体の上に火炎中で生成したガラス微粒子をドーパントを添加しながら吹き付けて、上部クラッド層となるガラス微粒子層を形成する第2の工程と、前記ガラス微粒子層に熱処理を施すことにより、このガラス微粒子層を透明ガラス化して上部クラッド層を形成する第3の工程と、を備え、この上部クラッド層の内部応力が1.5×107 N・m-2以下となるような濃度のドーパントを前記第2の工程において添加することを特徴とする光導波路の作製方法。

IPC (2件)：

G02B 6/13 , G02B 6/12

FI (2件)：

G02B 6/12 M , G02B 6/12 N

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-169406
光導波路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-088572 出願人：日立電線株式会社
特開平3-267902

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