真空蒸着装置および方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-122321
公開番号（公開出願番号）：特開平7-331437
出願日： 1994年06月03日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】本発明は、包装材料などの分野に利用可能な各種機能を有したプラスチックフィルムの真空蒸着加工装置の蒸着室構造に特徴を有する装置およびそれを用いた真空蒸着方法に関する。【構成】蒸発粒子がプラスチックフィルムへ到達堆積する際のプラスチックフィルム面の法線と、蒸発粒子飛行経路の成す角度の内、フィルム巻き取り方向成分との角度(蒸着入射角度)の最大値が0度〜70度である真空蒸着装置である。

請求項（抜粋）：

プラスチックフィルムの巻き取り式真空蒸着装置において、蒸発粒子がプラスチックフィルムへ到達堆積する際のプラスチックフィルム面の法線と、蒸発粒子飛行経路の成す角度の内、フィルム巻き取り方向成分との角度(蒸着入射角度)の最大値が0度〜70度であることを特徴とする真空蒸着装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特公平5-065588
真空蒸着装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-122320 出願人：東洋インキ製造株式会社

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