特許

J-GLOBAL ID：200903088832231193

光学スキャナおよびレーザ加工装置

発明者： 坂本 淳 ,  大槻 治明 ,  野上 忠彦 ,  大久保 弥市
出願人/特許権者： 日立ビアメカニクス株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-233407
公開番号（公開出願番号）：特開2004-074166
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】ミラーを高速かつ高精度に位置決めすることができる光学スキャナおよびレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】棒状の駆動力伝達部材8と、駆動力伝達部材8の軸線方向の一端が固定され駆動力伝達部材8を軸線方向に移動させる圧電素子5を設け、ミラー1を回転軸線の回りに回転自在に支持すると共に、駆動力伝達部材8の他端をミラー1の当該回転軸線から外れた位置に固定する。圧電素子5を伸縮させると、駆動力伝達部材8が撓みながらミラー1を当該回転軸線の回りに回転させるので、例えばばね等により圧電素子5が縮小する方向にミラー1を付勢する場合に比べてミラー1を回転させるための駆動力を大幅に低減できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ミラーにより光ビームを反射して前記光ビームを位置決めする光学スキャナにおいて、 棒状の駆動力伝達部材と、前記駆動力伝達部材の軸線方向の一端が固定され前記駆動力伝達部材を前記軸線方向に移動させる直線移動手段と、を設け、 前記ミラーを回転軸線の回りに回転自在に支持すると共に、 前記駆動力伝達部材の他端を前記ミラーの前記回転軸線から外れた位置に固定し、前記直線移動手段を移動させることにより前記ミラーを回転させることを特徴とする光学スキャナ。

IPC (2件)：

B23K26/08 ,  G02B26/10

FI (3件)：

B23K26/08 B ,  G02B26/10 A ,  G02B26/10 104Z

Fターム (8件)：

2H045AB02 ,  2H045AB44 ,  2H045AB54 ,  2H045CA83 ,  4E068CB01 ,  4E068CD11 ,  4E068CE03 ,  4E068DA11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光走査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-249210   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭55-151614
  
• レーザ光線源
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-554928   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング