特許

J-GLOBAL ID：200903088835791319

圧電振動片と圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法

発明者： 菊島 正幸 ,  小林 博文
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 岡▲崎▼ 信太郎 ,  新井 全
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-271965
公開番号（公開出願番号）：特開2006-086996
出願日： 2004年09月17日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：

【課題】振動バランスを改善し、CI値を低く抑えることができるようにした圧電振動片と圧電デバイスならびに圧電デバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】圧電材料で形成した基部51と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる複数の振動腕34,35と、前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝56,57および長溝に形成された駆動用電極とを備え、前記各長溝には、前記圧電材料と密度および/または重量が近似した充填材料61が充填されている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

圧電材料で形成した基部と、 この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる複数の振動腕と、 前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝および長溝に形成された駆動用電極と を備え、 前記各長溝には、前記圧電材料と密度および/または重量が近似した充填材料が充填されている ことを特徴とする圧電振動片。

IPC (6件)：

H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (6件)：

H03H9/19 J ,  H03H3/02 D ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (15件)：

5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF05 ,  5J108FF14 ,  5J108GG03 ,  5J108GG16 ,  5J108KK02 ,  5J108KK07 ,  5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 振動片の製造方法、振動片、振動片を有する振動子、発振器及び携帯電話装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-265591   出願人：セイコーエプソン株式会社