特許
J-GLOBAL ID:200903088877898784

非蒸発ゲッターを製造する方法及びこの方法で製造したゲッター

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-540931
公開番号(公開出願番号):特表2001-506320
出願日: 1998年03月26日
公開日(公表日): 2001年05月15日
要約:
【要約】Zr及びTiから選択した少なくとも一つの第1の元素と、V、Cr、Mn及びNiの中から選択した少なくとも一つの第2の元素とを含んで成る多孔質の蒸発しないゲッター材料の製造方法を記載する。出発金属粉末は、相当酸化物を水素化カルシウムで還元することで製造し、そして得られた粉末を加圧成形して所定の範囲の温度と圧力とで焼結する。また、機械的性質とガス吸着性質との改良された組み合わせとなり、本製造方法によるゲッター本体全体に渡って化学組成が新規の分布を備えるゲッター材料を記載する。
請求項(抜粋):
水素化カルシウムで対応金属酸化物を還元することによる金属粉末の準備と、その後得られた前記金属粉末の成形とを含む非蒸発ゲッターを製造する方法であって、 Ti、Zrの群の少なくとも一つの元素と、V、Cr、Mn、Niの群の少なくとも一つの元素とを含有する金属粉末を製造するために出発材料を選択し、 1180〜1230°Cの温度で7〜15時間保持して還元を行い、 粉末を10〜500kg/cm2の圧力で成形し、且つ800〜1100°Cの温度で焼結する、ことを特徴とする非蒸発ゲッターを製造する方法。
IPC (3件):
B22F 9/20 ,  B01J 20/02 ,  H05H 7/00
FI (4件):
B22F 9/20 G ,  B01J 20/02 B ,  B22F 9/20 F ,  H05H 7/00
引用特許:
審査官引用 (1件)

前のページに戻る