特許
J-GLOBAL ID：200903088913723643

カタジオプトリックマイクロリソグラフィ用縮小対物レンズ

発明者：
カール・ハインツ・シュスター

カール・ハインツ・シュスター について


出願人/特許権者：
カール・ツアイス・スティフツング

カール・ツアイス・スティフツング について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-261501
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104513
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】 ウェハステッパの製造条件に対応する大きさの像視野を有し且つ適切な誤差修正を行う当該種類の縮小対物レンズを提供すること。【解決手段】 対称形の構造を有し且つ中心に影部分がある2つの互いに対向する凹面鏡(21,23)を有するカタジオプトリックマイクロリソグラフィ用縮小対物レンズ。ミラー(21,23)の後方の、像(61)に向かう光路に沿ってレンズ(24〜60)が配置されている。ミラー(21,23)の後方で中間像(Z)を結像するため、特に良好な補正能力が得られる。
請求項（抜粋）：
対称形の構造を有し且つ中心に影部分がある2つの互いに対向する凹面鏡(21,23)を有するカタジオプトリックマイクロリソグラフィ用縮小対物レンズにおいて、凹面鏡(21,23)の後方の、像(61)に向かう光路に沿ってレンズ(24〜60)が配置されていることを特徴とする縮小対物レンズ。
IPC (2件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/18
FI (2件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/18
引用特許：
審査官引用 (4件)
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