特許
J-GLOBAL ID：200903031118711279
反射屈折両特性原理を用いた広帯域紫外線画像システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-194333
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177139
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】 光学系が画像に与える収差による歪み、これによる色収差、スペクトラムに於て残された横軸方向の高次の補正問題等を解決する。【解決手段】 有効波長が広帯域に及ぶ紫外から遠紫外にわたるスペクトルの長軸並びに横軸方向と色収差等の各収差に関して第一次及び高次の補正機構を具備し、更に同スペクトル帯での画像歪と、或いは色収差に依る色彩の変調をもたらす収差に対して、高次補正を提供する複数のレンズ群から成るフォーカスレンズ群と、少なくとも2つの互いに異なる屈折特性を有するフィールドレンズ群と、更にカタディオプトリック群を有する。カタディオプトリック群は、焦点形成に大きく寄与する凹面の反射面と、色収差に依る第1次の色彩の変調を、フォーカスレンズ群と組合わせて補正する厚いレンズをを含む光学要素から構成される。
請求項（抜粋）：
単一の屈折率素材から構成され、所定の曲率を有する屈折面を含み、紫外光線を中間像において焦点が合うように選択された、光軸に沿った第1の位置に配置された複数のレンズ要素を含むフォーカスレンズ群であって、同時に本装置の他の構成要素と組合わせて画像歪と色収差の高度な補正能力を備え、バンド幅0.20から0.29ミクロンの波長で機能するフォーカスレンズ群と、前記中間像に近接して光軸上に設置する正極性のフィールドレンズ群であって、実質的に凸レンズ性を有し、且つ少なくとも2つの異なる屈折率故に互いに異なる分散特性を有する複数のレンズ要素を含み、このレンズ要素の各屈折面は第2の位置に設定され、且つ、少なくとも第2次性の横軸に関る色収差を補正するように屈折面の曲率が選定され、前記バンド幅で機能するフィールドレンズ群と、第1の光学要素と第2の光学要素とを含むカタディオプトリック群であって、前記第1の光学要素は、光軸に沿って前記中間像の近傍に設置され、少くとも1つの凹型反射面を有し、この中央に開口部を設けて中間像が発する光線を通過せしめる様に配備され、前記第2の光学要素は、中心部を除く其の背面に反射鏡膜を塗布する事に依って中心部は光透過性であるが、その他の面は、反射性を有して成る1つのレンズから成る、カタディオプトリック群とを具備し、前記カタディオプトリック群の前記第1及び第2の光学要素は、前記第1の光学要素の中心部の開口部を通って伝播し、入射して来る紫外光が、前記第2の光学要素である前記レンズを通過し、その背面の塗布された鏡で反射して、逆進し、再び前記レンズを通過して、前記第1光学要素の凹面鏡に向かい、これにて反射し、三度び前記第2の光学要素である前記レンズを通過し、そして、中央の塗布無き開口部を通過して最終画像を結像するように配備されることを特徴とする画像処理装置。
IPC (6件)：
G02B 17/08
, G01N 21/33
, G02B 13/14
, G03C 5/16
, G03F 3/00
, H04N 5/225
G02B 17/08 A
, G01N 21/33
, G02B 13/14
, G03C 5/16
, G03F 3/00 Z
, H04N 5/225 D
