特許

J-GLOBAL ID：200903088927847191

走査電子顕微鏡

発明者： 松山 秀生 ,  小池 和幸 ,  鈴木 敦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-112813
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306332
出願日： 1995年05月11日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】 高S/N比の2次電子像を取得する走査電子顕微鏡を提供すること。【構成】 散乱標的と複数の電子検出手段を備えた2次電子のスピン偏極度を検出する手段(スピン検出手段)とともに、散乱標的を透過した電子線の検出手段を備えるる。

請求項（抜粋）：

プローブ電子線を試料へ照射する手段と、プローブ電子線を走査する手段と、電子線を加速する手段と散乱標的と複数の電子検出手段を備えた2次電子のスピン偏極度を検出する手段と、試料から放出される2次電子をスピン検出手段へ導く電子光学系と、スピン検出手段からの出力信号を画像表示する手段を備えた走査電子顕微鏡に於いて、散乱標的を透過した電子線の強度を検出する手段を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/244 ,  G01R 33/10

FI (3件)：

H01J 37/28 Z ,  H01J 37/244 ,  G01R 33/10