特許

J-GLOBAL ID：200903088936695175

研磨用回転砥石

発明者： 峠 直樹 ,  古賀 雅代
出願人/特許権者： ノリタケダイヤ株式会社 ,  株式会社ノリタケカンパニーリミテド
代理人 (1件)： 加藤 久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-040753
公開番号（公開出願番号）：特開平11-239979
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【解決手段】 周方向に連続した溝を砥材層部に形成した研磨用回転砥石において、中央部から外周に向かって溝をらせん状に形成する、複数の円周方向の溝を偏心させて形成する、直線を含む環状の複数の溝として形成するなどして、周方向に連続した溝を同心円からずらして形成する。【効果】 従来の回転砥石のように砥石の軌跡をずらしながら繰り返し往復運動をさせる必要がないので、加工に要する時間を大幅に短縮することができ、作業能率が向上する。

請求項（抜粋）：

周方向に連続した溝を砥材層部に形成した研磨用回転砥石において、前記周方向に連続した溝を同心円からずらして形成したことを特徴とする研磨用回転砥石。

IPC (3件)：

B24D 7/00 ,  B24D 9/08 ,  B24D 11/00

FI (3件)：

B24D 7/00 P ,  B24D 9/08 C ,  B24D 11/00 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-297082
  
• 改善されたスラリー分配を備えた化学機械研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-043233   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド