特許
J-GLOBAL ID：200903088950516003
メンテナンス用局所清浄化装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-352661
公開番号（公開出願番号）：特開2000-179905
出願日： 1998年12月11日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】製造装置のメンテナンス時に発生する塵埃およびガス状汚染物質を速やかに高効率に除去回収することが可能なメンテナンス用局所清浄化装置を提供すること。【解決手段】製造装置50のメンテナンス用開口部52に接続する開口22を側壁に有し、上部に空気取り入れ口を有し、下部に空気排出口を有するケーシング10の前記空気排出口に、該ケーシング内の空気をクリーンルーム40外へ排気する空気排出手段30を備えている。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内に設置された対象装置のメンテナンス用開口に接続するための開口を側壁に有し、上部に空気取り入れ口を有し、下部に空気排出口を有するケーシングの前記空気排出口に、該ケーシング内の空気を前記クリーンルーム外へ排出する空気排出手段を備えたことを特徴とするメンテナンス用局所清浄化装置。
Fターム (1件)：
引用特許：
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