特許
J-GLOBAL ID：200903088972663921
内周刃ブレード刃先の撮像方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087882
公開番号（公開出願番号）：特開平5-253928
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【目的】 シリコン単結晶インゴットを切断する内周刃式切断機に装着する内周刃ブレードの芯振れ調整作業において、内周刃ブレード刃先の鮮明な拡大画像が得られるようなブレード刃先の撮像方法を提供する。【構成】 内周刃ブレード1の刃先1aの反射光は、顕微鏡5のレンズ5aと色フィルタ17とを介してCCDイメージセンサ6aにより検出される。そして、同期信号発生回路8aのクロックによりタイミング回路8bが作動し、ドライブ回路8cを制御する。前記ドライブ回路8cは、各画素の光電変換信号をCCDイメージセンサ6aから順次取り出し、すなわち走査、増幅して映像信号として信号処理回路9に送る。信号処理回路9も、同期信号発生回路8aのクロックに合わせて作動する。前記信号処理回路9の出力信号は、表示回路4aを介して表示装置に入力され、表示装置にはブレード刃先の鮮明な拡大画像が映し出される。
請求項（抜粋）：
内周刃式切断機に装着する内周刃ブレードの芯振れ調整作業において、前記ブレード刃先に焦点を合わせた顕微鏡の接眼レンズ側に少なくとも1個の固体撮像デバイスを取着し、前記固体撮像デバイスの検出信号を、同期信号発生回路、タイミング回路、ドライブ回路からなる固体撮像デバイス駆動回路が走査、増幅した上、信号処理回路を介して表示装置に入力することにより、内周刃ブレード刃先の拡大映像を前記表示装置に表示することを特徴とする内周刃ブレード刃先の撮像方法。
IPC (4件)：
B28D 1/22
, B24B 27/06
, B24B 49/12
, H01L 21/304 311
