マイクロリソグラフィ用投影露光システム

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山川政樹 , 山川茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-529950
公開番号（公開出願番号）：特表2007-504678
出願日： 2004年05月28日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：

マイクロリソグラフィの投影露光システムが、投影光(13)を発生させるための照明デバイス(12)、および投影用対物レンズ部(20、220、320、420、520、620、720、820、920、1020、1120)であって、投影用対物レンズ部の物体平面(22)に置かれることが可能なレチクル(24)が、投影用対物レンズ部の像平面(28)に配置される感光性の層(26)上にこれでもって投影されることが可能となる対物レンズ部を有する。この投影用対物レンズは浸漬動作のために設計され、その動作中では画像に最も近接しているレンズ(L5、L205、L605、L705、L805、L905、L1005、L1105)が浸漬液(34、334a、434a、534a)の中に浸される。画像に最も近接しているレンズと感光性の層との間に投影光(13)に対して透明である終端素子(44、244、444、544、644、744、844、944、1044、1144)が固定される。

請求項（抜粋）：

a)投影光(13)を発生させるための照明デバイス(12)と、 b)投影用対物レンズ部(20、220、320、420、520、620、720、820、920、1020、1120)であって、 i)前記投影用対物レンズ部の物体平面(22)に配置されるレチクルを、前記投影用対物レンズ部の像平面(28)に配置される感光性の層(26)上に画像化させることが可能であり、 ii)結像側にある前記投影用対物レンズ部の最終段レンズ(L5、L205、L605、L705、L805、L905、L1005、L1105)が浸漬液(34、334a、434a、534a)の中に浸される浸漬動作用に設計される投影用対物レンズ部を有する投影用対物レンズとを有するマイクロリソグラフィの投影露光システムであって、 c)前記投影光に関して透過性であり、結像側の前記最終段レンズと前記感光性の層との間に少なくとも結像側の境界面(72、272)で前記浸漬液中に浸されるような方式で配置される終端素子(44、244、444、544、644、744、844、944、1044、1144)を有することを特徴とするシステム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D , G03F7/20 521

Fターム (7件)：

5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046CB01 , 5F046CB12 , 5F046CB19 , 5F046CB25 , 5F046CB26

引用特許：

審査官引用 (1件)

液浸型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-121757 出願人：株式会社ニコン

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