特許
J-GLOBAL ID：200903088998263840
トラップ装置
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-211340
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033303
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：
【要約】【課題】 比較的多量のガスのトラップを安定した状態で行なうことができるトラップ装置を提供する。【解決手段】 筒状の密閉されたトラップ容器48と、トラップ容器48の一端側に接続された入口配管50と、入口配管50よりトラップ容器48内部の他端側に向けて延び、内部の所定位置で開口する内側管と、トラップ容器48の上端側に開口する出口配管52とを備え、トラップ容器48内部の他端側に冷却トラップ部を形成した。
請求項（抜粋）：
筒状の密閉されたトラップ容器と、該トラップ容器の一端側に接続された入口配管と、該入口配管より前記トラップ容器内部の他端側に向けて延び、内部の所定位置で開口する内側管と、トラップ容器の上端側に開口する出口配管とを備え、前記トラップ容器内部の他端側に冷却トラップ部を形成したことを特徴とするトラップ装置。
IPC (5件)：
B01D 8/00
, F04B 37/16
, H01L 21/205
, H01L 21/31
, C23C 14/24
B01D 8/00 Z
, F04B 37/16 C
, H01L 21/205
, H01L 21/31 B
, C23C 14/24 M
