被覆硬質合金の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-326972
公開番号（公開出願番号）：特開平11-140623
出願日： 1997年11月12日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【目的】比較的短い処理時間で、ドロップレットが無く、硬質皮膜の密着性が優れ、被覆物の表面粗さが良好な被覆硬質合金の製造方法を提供する。【構成】アークイオンプレーティング法またはマグネトロンスパッタリング法により硬質合金製基体に硬質皮膜を被覆する被覆硬質合金の製造方法において、イオン化して基体表面をエッチングするガスとしてクリプトンおよび/またはキセノンを用いる。

請求項（抜粋）：

イオンプレーティング法により硬質合金製基体に硬質皮膜を被覆する被覆硬質合金の製造方法において、ガスをイオン化して基体表面をエッチングするエッチング工程に用いるガスとしてクリプトンガスおよび/またはキセノンガスを用いることを特徴とする被覆硬質合金の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/02 , C23C 14/32 , C23F 4/00

FI (3件)：

C23C 14/02 Z , C23C 14/32 B , C23F 4/00 E

引用特許：

審査官引用 (5件)

プラズマ気相蒸着法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-190536 出願人：東芝タンガロイ株式会社
機械部品の表面処理方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-001715 出願人：三菱電機株式会社
特開昭63-080538

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