特許
J-GLOBAL ID：200903089045641526
静電容量式力学量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-240434
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065664
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】静電容量式センサで検出する力学量的変位をオペアンプの応答性の制約を受けることなく高速の検出用駆動周波数を使用して、しかも浮遊容量の影響を受けることなく安定して、且つ直線的に電圧(直流出力)に変換する。【解決手段】力学量検出用静電容量5(CS)が力学量に応じて変位すると、この素子5と参照用静電容量4との間に充電される電荷量に均衡がくずれて差が生じ、この電荷量の差に応じてオペアンプ7の出力Voutが変化するが、出力Voutは、最終的に、力学量検出用静電容量5と参照用静電容量4の電荷量が等しくなるところで安定する。この出力Voutは力学量検出用静電容量CSの逆数に比例し、直流電圧の形態をとる。また、積分帰還容量(帰還用コンデンサ)CFに依存しない出力が得られる。
請求項（抜粋）：
力学量に応じて静電容量CSが変化する力学量検出用静電容量素子と、参照用の静電容量CRを形成する参照用静電容量素子と、前記力学量検出用静電容量素子の静電容量CSの逆数に比例した力学量検出信号を出力する容量検出回路とを備え、前記力学量検出用静電容量素子が力学量に応じて変位すると、この力学量検出用静電容量素子と参照用静電容量素子との間に充電される電荷量に均衡がくずれて差が生じ、この電荷量の差に応じて前記容量検出回路の出力が変化する回路構成としてあり、且つ、この容量検出回路の出力を用いて該出力が前記力学量検出用静電容量素子と前記参照用静電容量素子の電荷量が等しくなるところまで変化するよう動作させる充放電回路を備えて成ることを特徴とする静電容量式力学量センサ。
Fターム (8件)：
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055EE25
, 2F055FF11
, 2F055GG36
, 2F055GG44
