特許
J-GLOBAL ID：200903089066111349
固体撮像素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-263037
公開番号（公開出願番号）：特開平11-103037
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 層内レンズとその上層あるいは下層との間に起こる反射を防止し、集光効率を高めて感度向上を図った固体撮像素子の提供が望まれている。【解決手段】 基体2の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部3と、受光センサ部3から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部5と、前記基体上の、電荷転送部5の略直上位置に絶縁膜7を介して設けられた転送電極8とが備えられてなる。受光センサ部3上には入射光を受光センサ部3に集光する層内レンズ15が設けられている。層内レンズ15上には上反射防止膜16を介してカラーフィルタ層17が設けられている。上反射防止膜16は、層内レンズ15の屈折率とカラーフィルタ層17の屈折率との間の屈折率を有する材料から形成されている。
請求項（抜粋）：
基体の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部と、該受光センサ部から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部と、前記基体上の、前記電荷転送部の略直上位置に絶縁膜を介して設けられた転送電極とが備えられ、前記受光センサ部上に、入射光を受光センサ部に集光する層内レンズが設けられ、該層内レンズ上に上反射防止膜を介してカラーフィルタ層が設けられてなり、前記上反射防止膜が、前記層内レンズの屈折率とカラーフィルタ層の屈折率との間の屈折率を有する材料からなることを特徴とする固体撮像素子。
引用特許：
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