特許
J-GLOBAL ID:200903089086515314

制御装置、制御装置のプログラムのロード方法および処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井上 俊夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-289265
公開番号(公開出願番号):特開平8-129407
出願日: 1994年10月28日
公開日(公表日): 1996年05月21日
要約:
【要約】【目的】 運転用プログラムのバージョンアップを行うにあたってROMのピン折れや差し違いといったトラブルがなく、簡単に作業を行うことができるようにすること。【構成】 真空処理装置の搬送系のプログラムやプロセス制御系のプログラムなどの複数のプログラムを、夫々CPUボードB1〜B4のフラッシュメモリ61〜64に格納するように構成する。一方CPUボードB1〜B4にはロード用のプログラムを格納したEPROM71〜74を設けておくと共に、バスBSにマルチポートメモリ21を接続する。バージョンアップした各プログラムはメモリカード9に記憶され、メモリカード9をカードリーダ22に装着し、CPU51〜54によりロード用のプログラムに基づいて直接またはマルチポートメモリ21を通じてフラッシュメモリ61〜64に書き込まれて各プログラムが更新される。
請求項(抜粋):
運転用プログラムを格納するための書き込み可能なメモリと、前記運転用プログラムが記憶されたメモリカードと、このメモリカード内のプログラムを読み出して前記メモリにロードするためのロード手段と、前記メモリカードをロード手段に結合するための結合手段と、を備えたことを特徴とする制御装置。
IPC (4件):
G05B 19/05 ,  G06F 9/445 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68
FI (2件):
G05B 19/05 F ,  G06F 9/06 420 H
引用特許:
審査官引用 (12件)
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