特許

J-GLOBAL ID：200903089095348021

光偏向器

発明者： 加藤 貴久 ,  安田 進 ,  島田 康弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-060062
公開番号（公開出願番号）：特開2005-250078
出願日： 2004年03月04日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：

【課題】 単一の素子で2次元の偏向走査を行うことができる小型の光偏向器を提供する。【解決手段】 固有振動モードを用いながら、略等角速度の偏向走査領域を有する駆動を実現する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源からの光を偏向走査する光偏向器であって、 該光偏向器は、 支持体と振動系と、 該振動系を駆動する駆動手段とで構成され、 該振動系は、 第1のねじり軸まわりに、複数の第1軸ねじりバネで弾性的に直列に連結された2つ以上の第1軸揺動可動子と、 前記第1のねじり軸と直交した第2のねじり軸まわりに、第2軸ねじりバネで弾性的に連結された第2軸揺動可動子と、 第2軸揺動可動子に設置された光偏向体とを有し、 少なくとも1つの前記第1軸揺動可動子は、 前記第1のねじり軸まわりに、前記第1軸ねじりバネで前記支持体と弾性的に連結され、 前記第2軸揺動可動子は、 前記第2のねじり軸まわりに、前記第2軸ねじりバネで、少なくとも1つの前記第1軸揺動可動子と弾性的に連結され、 前記振動系は、 前記第1のねじり軸まわりに、 周波数が異なる少なくとも2つの固有振動モードを有し、 前記駆動手段は、前記振動系を、 前記第1のねじり軸まわりに少なくとも2つの前記固有振動モードで、 同時にねじり振動させることを特徴とする光偏向器。

IPC (1件)：

G02B26/10

FI (3件)：

G02B26/10 C ,  G02B26/10 F ,  G02B26/10 104Z

Fターム (2件)：

2H045AB06 ,  2H045AB13

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許第6044705号公報
  
• 光偏向子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-168206   出願人：富士電機株式会社
• 揺動型2次元走査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-099563   出願人：日本信号株式会社