特許
J-GLOBAL ID：200903089114995904
エッチング液の再生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-245289
公開番号（公開出願番号）：特開2002-105673
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：
【要約】【課題】生産性を向上させ、設備費やランニングコストを低減するとともに、廃棄物のなくすことで環境破壊を起こさないエッチング液の再生方法を提供する。【解決手段】エッチング処理(n1)によって、被エッチング金属が溶けだし、3価鉄が2価鉄に変化したエッチング液を塩酸と過酸化水素水で再生処理する(n4)。そして、この液を濃縮して水を分離し(n11→n13)、塩素化合物として溶けだしている被エッチング金属を晶出させる(n14〜n19)。分離した水は再生されたエッチング液の濃度調整用水として用いられ、被エッチング金属を取り除かれたエッチング液はエッチングプロセスにリサイクルされる。これにより、塩素を除く全ての物質がリサイクルされる。なお、晶出分離された被エッチング金属もこのプロセス外の専用の再生工程で金属に再生することにより、低コストで金属に再生することができる。
請求項（抜粋）：
エッチングによって組成の変化した塩化鉄エッチング液をエッチング装置から取り出し、塩酸および過酸化水素水からなる再生助剤を加えることによって再生する再生工程、再生されたエッチング液を濃縮して、水を分離する濃縮工程、この濃縮されたエッチング液から被エッチング金属を化合物のまま分離する分離工程、該化合物が分離されたエッチング液をエッチング装置に循環させる循環工程、を有し、再生工程において、分離工程で分離された水を濃度調整用水として用いるエッチング液の再生方法。
Fターム (9件)：
4K057WA18
, 4K057WB01
, 4K057WB02
, 4K057WB03
, 4K057WE08
, 4K057WE25
, 4K057WH04
, 4K057WH07
, 4K057WN01
