特許

J-GLOBAL ID：200903089116439502

窒化アルミニウム焼結体、金属埋設品、電子機能材料および静電チャック

発明者： 勝田 祐司 ,  森 行正 ,  別所 裕樹 ,  高橋 道夫
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-072799
公開番号（公開出願番号）：特開平9-315867
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】高純度であって、かつ低い体積抵抗率を有する、新規な窒化アルミニウム焼結体を提供すること【解決手段】窒化アルミニウム結晶粒子中の希土類元素の含有量(酸化物への換算値)が150ppm以上、0.5重量%以下であり、希土類元素を除く金属不純物量が900ppm以下であり、カソードルミネッセンスによるスペクトルにおいて、350nm〜370nmの波長領域に主要ピークを有している。体積抵抗率が1×101 2 Ω・cm以下である。好ましくは、窒化アルミニウム結晶粒子の平均粒径が3.0μm以上であり、希土類元素の含有量が0.1重量%以下であり、金属不純物量が500ppm以下であり、またX線マイクロアナライザーによる各窒化アルミニウム結晶粒子の酸素濃度が0.5重量%以上である。

請求項（抜粋）：

希土類元素の含有量(酸化物への換算値)が150ppm以上、0.5重量%以下であり、希土類元素を除く金属不純物量が900ppm以下であり、カソードルミネッセンスによるスペクトルにおいて、350nm〜370nmの波長領域に主要ピークを有していることを特徴とする、窒化アルミニウム焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/581 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

C04B 35/58 104 B ,  H01L 21/68 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭60-065768
  
• 特開昭60-071575
  
• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-190023   出願人：京セラ株式会社
• 窒化アルミニウム焼結体、金属包含材、静電チャック、窒化アルミニウム焼結体の製造方法および金属包含材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-293129   出願人：日本碍子株式会社

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-065768
  
• 特開昭60-071575
  
• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-190023   出願人：京セラ株式会社