光記録媒体用スタンパの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307588
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144093
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：

【要約】【目的】従来より細いグルーブおよび小さいピットを形成することが可能になり、高密度化した光記録媒体に用いる基板を作成できるので、光記録媒体の高密度化が可能とする。【効果】光記録媒体に用いるスタンパのトラック溝の幅を従来のものより細く、ピットを従来のものより小さくできるので、光記録媒体の記録密度を増加させる短波長記録のための記録膜を用いた系に必要な基板を提供することができるようになり、それによって光記録媒体の記録密度を増加させることが可能になるという効果と、従来の光学系を用いて、従来より細い溝や小さいピットを形成できるという効果がある。

請求項（抜粋）：

無機物からなる表面が平滑な第1の原盤の上に、ポジ型の第1のレジストを塗布し、レーザー光を集光して前記第1の原盤を回転させながら前記第1のレジストの特定領域を露光し、アルカリ溶液によって前記第1のレジストの露光部分を現像した後、該現像部分および非現像部分に第1の金属膜を成膜し、現像されずに残った前記第1のレジスト部分、および現像されずに残った前記第1のレジスト上に成膜された前記第1の金属膜を溶剤を用いて除去した後、さらに第2の金属膜を成膜し、該第2の金属膜を電極にして該第2の金属膜と同種または異種の第3の金属を電鋳し、前記第1の原盤から剥離して金属板とし、該金属板に残っている前記第1の金属膜を除去することによって形成された金属板を型として、前記第3の金属と同種または異種の第4の金属を電鋳した後、前記金属板から剥離することによって作製することを特徴とする光記録媒体用スタンパの製造方法。

IPC (3件)：

G11B 7/26 511 , B29C 33/38 , B29L 17:00

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-063947
特開平1-309989
特開平2-096926

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