特許
J-GLOBAL ID:200903089178332224
クリーン・ルームの天井フィルタ・ユニット支持システム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 岩本 行夫
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-547593
公開番号(公開出願番号):特表2004-515735
出願日: 2000年12月08日
公開日(公表日): 2004年05月27日
要約:
クリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システムは、フィルタ・ユニットを越えて旋回することによって、クリーン・ルーム内で締め付け係合させ、解放するよう撓む協働締め付け具を画定するフィルタ・ユニットを有する。
請求項(抜粋):
枠および前記枠内に密封されたフィルタ媒体を備えるフィルタ・ユニット、および前記枠に隣接して、前記フィルタ・ユニットを作業空間に隣接して支持するフィルタ・ユニット支持体のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システムで、前記フィルタ・ユニット支持システムが、前記フィルタ・ユニット枠および前記フィルタ・ユニット支持体によって担持され協働する締め付け具を備え、協働する一方の締め付け具が、前記協働する締め付け具によって旋回状態で撓むことができ、前記撓みに抗してバイアスを受けて、撓んでいない位置へと復帰し、撓んだ後に前記フィルタ・ユニットを前記フィルタ・ユニット支持体内に支持するクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (9件):
3L058BE00
, 3L058BF01
, 3L058BF06
, 3L058BG03
, 4D058JA01
, 4D058KA01
, 4D058KC02
, 4D058KC17
, 4D058SA04
引用特許:
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