磁気記録媒体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-106067
公開番号（公開出願番号）：特開平7-296373
出願日： 1994年04月20日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】より厳しくなる摺動条件下で充分に耐え得る優れた耐摺動性を有する磁気記録媒体を提供する。【構成】基板上に形成された磁性層上にスパッタリング法にて保護層を形成して成る磁気記録媒体において、保護層がカーボンを主成分とする非晶質層で構成され、特定のヌープ硬度と弾性度(ヌープ硬度/ヤング率の比)とを有する。斯かる保護層は、水素ガスの存在下にプラズマ電位に対して基板の電位が相対的に低くなるバイアス電位を印加した条件下でカーボンターゲットをスパッタリングして形成される。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された磁性層上にスパッタリング法にて保護層を形成して成る磁気記録媒体において、保護層がカーボンを主成分とする非晶質層で構成され、次の(1)及び(2)に定義するヌープ硬度と弾性度とを有することを特徴とする磁気記録媒体。(1)同一スパッタリング条件の下に厚さ500μmのシリコン基板表面に5000Åの厚さで上記の保護層を形成し、ヌープ圧子を使用して荷重W(g)で圧痕を形成した後、圧痕の対角線長さ(DL μm)から以下の数式に基づいて算出したヌープ硬度(HK )が15ギガパスカル以上であること。(2)同一スパッタリング条件の下に厚さ100μmの石英基板の両面に上記の保護層を形成し、中央集中荷重負荷形式の3点曲げの原理に基づく測定装置を使用して荷重と変位を測定し、以下の数式に基づいて石英基板自体のヤング率(Es )を算出した後、以下の数式に基づいて保護層自体のヤング率(Et )を算出し、これと上記のヌープ硬度とにより、ヌープ硬度/ヤング率の比として定義される弾性度が0.18以上である。【数1】HK =139.5×W×(1/DL 2 )Es =PL3 / 48IXsEt =Es(1-Ss/St)( Ss/St)/(3(Tt/Ts)+3( Tt/Ts)2 +(Tt/Ts)3 )(ここで、Pは荷重、Lは基板支持のスパン、Iは基板の断面2 次モーメント、Xs は基板の変位、Ss は基板のたわみ量(一定荷重での変位)、St は基板と保護層のたわみ量(一定荷重での変位)、Tt は保護層の厚さ、Ts は基板の厚さを表す。)

IPC (3件)：

G11B 5/72 , G11B 5/82 , G11B 5/84

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-137113
特開平3-203024
特開平2-132627

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