特許
J-GLOBAL ID：200903089220891336
ICチップの性能分類方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-295097
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144741
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 ICチップの性能分類装置の製造コストを低減でき、しかもICチップの生産性を向上させることができる、ICチップの性能分類方法および装置を提供する。【解決手段】 ICチップの性能をICウエハの段階で測定する性能測定装置による測定データに基づいて、ICウエハにおけるICチップの位置とその性能のランクとを対応付けた分類データを生成するデータ処理装置1と、データ処理装置からの分類データに基づいて、ICウエハから分割されたICチップを性能のランク毎に仕分けする仕分装置を構成するピックアップ装置2およびトレイ供給装置3とを備えた。
請求項（抜粋）：
ICチップの性能をICウエハの段階で測定して、その測定データに基づいて、前記ICウエハにおける前記ICチップの位置とその性能のランクとを対応付けた分類データを作成し、前記分類データに基づいて、前記ICウエハから分割された前記ICチップを性能のランク毎に仕分けすることを特徴とする、ICチップの性能分類方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/66 B
, H01L 21/66 A
, H01L 21/68 E
