ICテスタ用分離型ハンドラシステム

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-070826
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233901
出願日： 1995年03月03日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】水平搬送型ICテスタ用オートハンドラにおいて、テスト室での床面積を縮小し、テストスピードとカテゴリ分類スピードとを向上させるICテスタ用分離型ハンドラシステムを提供する。【構成】従来のハンドラのテスト部門とソート部門を2分割してテスティングマシン1とソーティングマシン2とし、テスティングマシンはテスト室でDUT10をテストし、ソーティングマシンはソートセンタでDUTを分類する。この両者間をテスト済DUT10を載置しIDナンバを付したトレイ7と、その複数のトレイを収納しIDナンバを付したトレイカセット3が往復する。ソーティングマシンはIDナンバに基づきテスティングマシンとでデータの授受を行い、DUTのトレイでの位置データとカテゴリデータを得てソートする構成とした。

請求項（抜粋）：

DUT(10)を搬送し、接触部(21)でICテスタとコンタクトして電気的諸特性を測定し、上記測定データに基づいたカテゴリ毎に分類し搬送する水平搬送型ICテスタ用オートハンドラにおいて、ローダ部(14)、測定部(33)、アンローダ部(23)、DUT搬送手段及びテスト制御部を有するテスティングマシン(1)と、ローダ部(40)、ソート部(41〜46)、DUT搬送手段及びソート制御部を有するソーティングマシン(2)と、複数の上記DUT(10)を搭載しIDナンバ(81 )を有する複数のトレイ(7)と、上記複数のトレイ(7)を収納したIDナンバ(82 )を有するトレイカセット(3)と、上記ソーティングマシン(2)と上記テスティングマシン(1)との間で上記DUT(10)に関するトレイ(7)の位置データとカテゴリデータの授受を行うデータ通信手段(53)と、を具備することを特徴とするICテスタ用分離型ハンドラシステム。

IPC (2件)：

G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 31/26 Z , H01L 21/66 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

ICハンドラ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-121710 出願人：株式会社日立製作所, 日立清水エンジニアリング株式会社
部品の試験方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-059890 出願人：富士通株式会社, 株式会社富士通東北エレクトロニクス
半導体装置の処理装置およびその処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-008377 出願人：株式会社東芝

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