薬液供給装置および半導体装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福井豊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-079273
公開番号（公開出願番号）：特開2007-258367
出願日： 2006年03月22日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：

【課題】吐出薬液に気泡が混入することを抑制することができる薬液供給装置、および薬液に混入した気泡に起因するパターン形成不良の発生を抑制することができる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】薬液が貯蔵された容器1はフィルタハウジング5に導入管2を介して接続される。フィルタ6はフィルタハウジング5の下部側に配設される。薬液は、ポンプ3により容器1からフィルタハウジング5へ送出される。フィルタ6より上方のフィルタハウジング5の内面には、薬液に対して親和性を有する親液面13が設けられている。フィルタハウジング5には、フィルタ6よりも下方に、流路を開閉する供給弁7が介在された供給管8を介して薬液を対象物に供給する供給部9が接続される。また、フィルタ6よりも上方に、流路を開閉する排出弁11が介在された排出管10を介して薬液を外部に排出する排出部12が接続される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

薬液中の異物を除去するフィルタを通じて、前記薬液を対象物に供給する薬液供給装置において、薬液を貯蔵する容器と、導入管を介して前記容器に接続されたフィルタハウジングと、前記フィルタハウジング内の下部側に設けられたフィルタと、前記容器内の薬液を前記フィルタハウジングに送り出すポンプと、フィルタより上方の前記フィルタハウジングの内面に設けられた、前記薬液に対して親和性を有する材質からなる親液面と、流路を開閉する供給弁が介在された供給管を介して前記フィルタハウジングの前記フィルタよりも下方で接続され、前記薬液を対象物に供給する供給部と、流路を開閉する排出弁が介在された排出管を介して前記フィルタより上方で前記フィルタハウジングに接続され、前記薬液を外部に排出する排出部と、を備えたことを特徴とする薬液供給装置。

IPC (8件)：

H01L 21/027 , B01J 4/00 , H01L 21/304 , G03F 7/30 , H01L 21/306 , B01D 35/30 , B01D 19/00 , B05C 11/10

FI (9件)：

H01L21/30 564Z , B01J4/00 103 , H01L21/304 648F , H01L21/30 569A , G03F7/30 501 , H01L21/306 J , B01D35/30 , B01D19/00 B , B05C11/10

Fターム (36件)：

2H096AA25 , 2H096BA01 , 2H096BA09 , 2H096CA14 , 2H096GA23 , 2H096GA30 , 2H096LA17 , 2H096LA18 , 2H096LA19 , 4D006GA07 , 4D006JA71 , 4D006KA31 , 4D006KA72 , 4D006KB17 , 4D006KB30 , 4D006PA01 , 4D006PB20 , 4D006PC01 , 4D011AA01 , 4D011AD03 , 4D064CD00 , 4F042AA06 , 4F042CB02 , 4F042CB18 , 4F042CB25 , 4G068AA01 , 4G068AB15 , 4G068AC05 , 4G068AD21 , 4G068AF01 , 4G068AF17 , 4G068AF40 , 5F043EE25 , 5F043EE30 , 5F046JA03 , 5F046LA03

引用特許：

出願人引用 (6件)

薬液用配管と薬液供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-165308 出願人：松下電器産業株式会社
フィルター装置および半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-165468 出願人：株式会社ルネサステクノロジ
特開平3-202106

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