特許
J-GLOBAL ID：200903089290563808
ウエハキャリア洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-320182
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274131
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 ウエハキャリア70の側壁部内面を確実に且つ効率的にブラッシングする。【解決手段】 洗浄槽21内にウエハキャリア70を支持する架台22aを設ける。架台22aによって洗浄槽21内に支持されたウエハキャリア70の側壁部内面をブラッシングする回転ブラシ24を設ける。架台22aはウエハキャリア70を鉛直軸回りに回転させる。回転ブラシ24はウエハキャリア70の側壁部に沿った水平な片持ち形式の回転軸と、ウエハキャリア70の側壁部内面を全長の半分にわたってブラッシングできるブラシ幅とをもち、且つ洗浄ロボット23により鉛直方向と回転軸に直角な水平方向の2方向に駆動される。両側の側壁部内面を全長の半分にわたってブラッシングした後、ウエハキャリア70を鉛直軸回りに180°回転させて、両側の側壁部内面の残りの部分をブラッシングする。回転ブラシ24を回転軸方向に移動させることなく、両側の側壁部の内面全体がブラッシングされる。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハの搬送に使用されるキャリアの表面を機械ブラシにより自動洗浄するブラシ洗浄手段を備えたウエハキャリア洗浄装置において、前記ブラシ洗浄手段は、洗浄槽内にウエハキャリアを支持する架台と、洗浄槽内に支持されたウエハキャリアの内面をブラシングする回転ブラシとを有しており、前記架台はウエハキャリアを鉛直軸回りに回転させる回転式であり、前記回転ブラシは昇降式で、且つ前記ウエハキャリアのウエハ整列方向に延びる片持ち支持式の中心軸と、前記ウエハキャリアの内側面をウエハ整列方向全長の半分にわたってブラシングできるブラシ幅とをもつ構成であることを特徴とするウエハキャリア洗浄装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 648
, B08B 1/04
, B08B 3/04
, B08B 7/04
H01L 21/304 648 E
, B08B 1/04
, B08B 3/04 A
, B08B 7/04 A
