特許
J-GLOBAL ID：200903089352715804

多層膜被覆部材

発明者：
井寄 裕介

井寄 裕介 について


出願人/特許権者：
日立ツール株式会社

日立ツール株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063234
公開番号（公開出願番号）：特開平11-323574
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【目的】 物理蒸着法における酸化物被覆の密着性、靱性等の問題点等を解決し、酸素を含有する皮膜の密着性を著しく改善した被覆工具を提供する。【構成】 多層膜被覆部材において、前記多層膜の少なくとも一部が、周期律表の4a、5a、6a族元素又はAlの炭化物、窒化物、炭窒化物、又はそれらの複合炭化物、複合窒化物、複合炭窒化物からなる第1の層と、周期律表の4a、5a、6a族元素又はAlの炭酸化物、酸窒化物、炭酸窒化物、又はそれらの複合炭酸化物、複合酸窒化物、複合炭酸窒化物からなる第2の層とを交互に積層し、かつ前記第2の層及び該第2の層を介して隣り合う前記第1の層が面心立方構造の結晶連続性を保たせることにより構成する。
請求項（抜粋）：
ハイス、超硬合金、サーメット等の超硬質合金とその上に形成された多層被覆よりなる多層被覆部材であり、該多層被覆は2以上の第1の層と2以上の第2の層を交互に積層してなり、該第1の層は周期律表の4a、5a、6a族、及びAlの少なくとも1の元素の炭化物、窒化物、炭窒化物からなる群から選ばれる少なくとも1つから構成され、該第2層は周期律表の4a、5a、6a族、及びAlの少なくとも1の元素の酸化物、炭酸化物、酸窒化物、炭酸窒化物からなる群から選ばれる少なくとも1つから構成されることを特徴とする多層被覆部材。
IPC (4件)：
C23C 28/00 ,  B23B 27/14 ,  C23C 14/06 ,  C23C 28/04
FI (4件)：
C23C 28/00 A ,  B23B 27/14 A ,  C23C 14/06 P ,  C23C 28/04
引用特許：
審査官引用 (3件)

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