特許
J-GLOBAL ID:200903089365060343
サブミクロンの中空空間を含む成分
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-568449
公開番号(公開出願番号):特表2005-517973
出願日: 2003年02月12日
公開日(公表日): 2005年06月16日
要約:
光学成分または解析プラットフォームは、基板、基板(3)上の微細構造の配列および隣接する微細構造の側壁によって形成されたマイクロチャンネル(15,15′)を含み、マイクロチャネルの幅は基板までの距離の関数として変化し、この幅は、少なくとも1つの距離間隔内で基板からの距離が増すと連続して減少する。このような成分またはこのようなプラットホームを生成するための方法において、表面の微細構造の配列を有する基板は、蒸気処理でコーティングされ、コーティング機構のシャドーイング効果が微細構造の側壁の上方部分の幅を少なくとも部分的に狭めることにより、少なくとも部分的に埋込まれたマイクロチャネルを形成する。
請求項(抜粋):
基板と、
基板上の微細構造の配列と、
隣接する微細構造の側壁によって形成されたマイクロチャンネルと、基板までの距離の関数として変化するマイクロチャンネルの幅とを含み、前記幅は少なくとも1つの距離間隔内で基板からの距離が増すと連続して減少する、光学成分。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (8件):
2H049AA02
, 2H049AA13
, 2H049AA53
, 2H049AA59
, 2H049BA02
, 2H049BA05
, 2H049BA45
, 2H049BC21
引用特許:
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