外観検査方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-150314
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344449
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】正確かつ迅速に検査対象物の外観検査を行う。【解決手段】検査対象物に対して所定の処理が施された特定領域のみを検査する方法であって、処理前の検査対象物を撮像してその画像を格納するステップS1と、処理後の検査対象物を撮像するステップS2と、撮像された処理後の画像および格納されている処理前の画像の一方を他方から減算して差画像を生成するステップS3と、差画像に現れた特定領域の画像に基づいて処理の適否を判定するステップS5とを具備することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

検査対象物に対して所定の処理が施された特定領域のみを検査する方法であって、処理前の検査対象物を撮像してその画像を格納するステップと、処理後の検査対象物を撮像するステップと、撮像された処理後の画像および格納されている処理前の画像の一方を他方から減算して差画像を生成するステップと、差画像に現れた特定領域の画像に基づいて処理の適否を判定するステップとを具備することを特徴とする外観検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , H05K 3/00 , H05K 3/34 512

FI (4件)：

G01N 21/88 F , G01N 21/88 J , H05K 3/00 Q , H05K 3/34 512 B

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-031976
特開昭62-239039
特開昭61-193053

全件表示

前のページに戻る