特許
J-GLOBAL ID：200903089404152846

(メタ)アクリル酸系重合体および感放射線性樹脂組成物

発明者：
西村 幸生

西村 幸生 について

, 
千葉 隆

千葉 隆 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-066461
公開番号（公開出願番号）：特開2005-255742
出願日： 2004年03月10日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 現像工程におけるパターン側壁の膨潤およびパターン倒れなどがない感放射線性樹脂組成物およびこの組成物に用いることができる(メタ)アクリル酸系重合体を提供する。【解決手段】 (メタ)アクリル酸系重合体は下記式(1)で表される繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ液に対する溶解性を制御できることを特徴とする。【化1】(式中、R1 は水素原子またはメチル基を、各R2 は互いに独立に炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状の置換基を有していてもよいアルキル基、炭素数4〜20の脂環式のアルキル基、または、2つのR2 が互いに結合し炭素数4〜9の脂環式骨格を有する1価の炭化水素基を表し、Xは炭素数1〜12の直鎖状もしくは分岐状の連結基、または、炭素数6〜20の脂環式の連結基を表し、nは1〜3の整数を表す)【選択図】 無
請求項（抜粋）：
下記式(1)で表される繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ液に対する溶解性を制御できる(メタ)アクリル酸系重合体。
IPC (5件)：
C08F20/28 ,  C08K5/36 ,  C08L33/14 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (5件)：
C08F20/28 ,  C08K5/36 ,  C08L33/14 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (32件)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002GT00 ,  4J100AL08P ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA04P ,  4J100BA11P ,  4J100BB17P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100BC53P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100DA39 ,  4J100JA00
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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