特許
J-GLOBAL ID：200903089432349566

被処理体の位置ずれ検出装置、処理システム及び位置ずれ検出方法

発明者：
謝 林

謝 林 について

, 
李 一成

李 一成 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-044249
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246447
出願日： 2001年02月20日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 被処理体の搬送動作を停止することなく、この被処理体の位置ずれ量を検出するようにして、被処理体の処理のスループットを向上させることが可能な被処理体の位置ずれ検出装置を提供する。【解決手段】 周辺部に方向認識のための切り欠き部が形成された円盤状の被処理体Wを保持している搬送機構42に対する前記被処理体の位置ずれを検出する検出装置において、搬送機構と搬送機構に保持されている被処理体との画像を取り込む画像センサ手段62A、64Aと、画像センサ手段にて取り込まれた画像情報に基づいて、搬送機構の予め定められた基準原点マークと被処理体の予め定められた少なくとも2つの基準点とを求めて被処理体の位置ずれ量を算出する位置ずれ量演算部62B、64Bとを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
周辺部に方向認識のための切り欠き部が形成された円盤状の被処理体を保持している搬送機構に対する前記被処理体の位置ずれを検出する検出装置において、前記搬送機構と前記搬送機構に保持されている前記被処理体との画像を取り込む画像センサ手段と、前記画像センサ手段にて取り込まれた前記画像情報に基づいて、前記搬送機構の予め定められた基準原点マークと前記被処理体の予め定められた少なくとも2つの基準点とを求めて前記被処理体の位置ずれ量を算出する位置ずれ量演算部とを備えたことを特徴とする被処理体の位置ずれ検出装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/31
FI (2件)：
H01L 21/68 M ,  H01L 21/31 C
Fターム (31件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA12 ,  5F031GA03 ,  5F031GA06 ,  5F031GA35 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031HA53 ,  5F031JA03 ,  5F031JA04 ,  5F031JA14 ,  5F031JA28 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA51 ,  5F031KA08 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031MA04 ,  5F031MA06 ,  5F031MA13 ,  5F031MA28 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F045AA08 ,  5F045BB08 ,  5F045EB08 ,  5F045EB09 ,  5F045EN04 ,  5F045EN06
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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