特許

J-GLOBAL ID：200903089453906708

薄板収納・輸送容器

発明者： 兵部 行遠 ,  結城 章
出願人/特許権者： 株式会社柿崎製作所 ,  帝人化成株式会社
代理人 (1件)： 工藤 宣幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-239683
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068363
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 発生ガスがほとんど無く、密閉保管されたシリコンウエハ等が汚染されにくい薄板収納・輸送容器を提供する。【解決手段】 粘度平均分子量14,000以上30,000以下であって旦つASTM D4526に準拠し密閉容器内で150°C、1時間加熱した際の発生ガス量がトルエン重量に換算して1.5ppm以下である芳香族ポリカーボネート樹脂を原料として、薄板収納・輸送容器の容器本体及び蓋体の双方を構成する。板状物4やウエハキャリア23,32は、2次転移温度が135°C以上の樹脂よりなる、帯電防止性能を有する樹脂組成物、例えば帯電防止型ポリエーテルエーテルケトン樹脂で構成する。

請求項（抜粋）：

多数枚の薄板を内部に収納支持する容器本体と、この容器本体内部に薄板を収納した状態で施蓋して内部を清浄に保つ蓋体とを備えた薄板収納・輸送容器において、前記容器本体及び蓋体の双方を、粘度平均分子量が14,000以上30,000以下である芳香族ポリカーボネート樹脂を原料として構成することを特徴とする薄板収納・輸送容器。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R

Fターム (20件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA05 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA01 ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096GA01 ,  3E096GA07 ,  5F031BB01 ,  5F031BB04 ,  5F031BC01 ,  5F031BC03 ,  5F031LL09 ,  5F031MM06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェーハ収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-074720   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社
• 記録媒体用カートリッジ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-241413   出願人：出光石油化学株式会社