特許

J-GLOBAL ID：200903097019207012

ウェーハ収納容器

発明者： 鈴木 勤 ,  熊井 貞勇 ,  廣畑 達明
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社 ,  信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-074720
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250581
出願日： 1995年03月08日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 ポリプロピレン樹脂製のウェーハ収納容器内に保管されるウェーハの有機汚染をなくし信頼性のある容器とする。【構成】 ポリプロピレン樹脂から成形されたウェーハ収納容器であって、前記ポリプロピレン樹脂100重量部に対して、ステアリン酸金属塩0.005〜0.1重量部と、ハイドロタルサイト類化合物0.01〜0.1重量部と、酸化防止剤0.01〜0.2重量部とが添加されている樹脂材料を成形温度170〜300°C、射出圧力100〜1000kg/cm2 、金型温度15〜80°Cの成形条件で、かつ水滴がケースに収納したウェーハ表面との接触点において、ウェーハ表面に対して接触角度2〜4度をなすケースに射出成形したことで、ウェーハをポリプロピレン樹脂のウェーハ収納容器内にウェーハを汚染することなく安全に収納することができる。

請求項（抜粋）：

ポリプロピレン樹脂から成形されたウェーハ収納容器であって、前記ポリプロピレン樹脂100重量部に対して、ステアリン酸金属塩0.005〜0.1重量部と、ハイドロタルサイト類化合物0.01〜0.1重量部と、酸化防止剤0.01〜0.2重量部とが添加されている樹脂材料を成形温度170〜300°C、射出圧力100〜1000kg/cm2 、金型温度15〜80°Cの成形条件で、かつ水滴がケースに収納したウェーハ表面との接触点において、ウェーハ表面に対して接触角度2〜4度をなすケースに射出成形したことを特徴とするウェーハ収納容器。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  G11B 23/02

FI (3件)：

H01L 21/68 T ,  G11B 23/02 A ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-041747
  
• 電子部品処理用器材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-103930   出願人：日本ゼオン株式会社