特許

J-GLOBAL ID：200903089520453470

弾性表面波素子

発明者： 中川原 修 ,  佐伯 昌彦 ,  井上 和裕
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 小柴 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-344404
公開番号（公開出願番号）：特開2003-152498
出願日： 2001年11月09日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：

【要約】【課題】 LiNbO3 またはLiTaO3 の単結晶からなる圧電基板上に、耐電力性に優れた電極が形成された弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 LiNbO3 またはLiTaO3 の単結晶からなる圧電基板2の表面の加工変質層を取り除いた後、Ti、CrおよびNiの少なくとも1種を主成分とする下地電極層5を1〜100nmの厚みで形成し、その上にAlを主成分とし、かつ10重量%の濃度で、Cu、Ti、Mg、Ni、Mo、ScおよびTaの少なくとも1種が添加された、Al電極層4を形成する。Al電極層4は、その結晶構造が双晶構造であり、Al結晶の(111)面の法線方向と圧電基板2の結晶のZ軸とが実質的に一致するように一定方向に配向する結晶方位を有する。

請求項（抜粋）：

圧電基板と、前記圧電基板上に形成された電極とを備え、前記電極は、Alを主成分としかつエピタキシャル成長した配向膜からなるAl電極層を含み、前記Al電極層は、双晶構造を有する多結晶からなり、かつ、10重量%以下の濃度をもって、Cu、Ti、Mg、Ni、Mo、ScおよびTaから選ばれた少なくとも1種の元素からなる添加物を含んでいる、弾性表面波素子。

FI (2件)：

H03H 9/145 Z ,  H03H 9/145 C

Fターム (8件)：

5J097AA24 ,  5J097BB11 ,  5J097DD15 ,  5J097FF01 ,  5J097FF03 ,  5J097GG04 ,  5J097HA02 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 弾性表面波装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-005876   出願人：日本電気株式会社