特許

J-GLOBAL ID：200903089563961933

赤外線透過に優れた透明導電膜及びその製造方法

発明者： 高辻 博史 ,  廣森 正 ,  辻 智
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-239858
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067657
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 可視光線から赤外線にかけての広い波長領域での光透過率に優れた透明導電膜を提供する。【解決手段】 亜鉛-インジウム酸化物(IZO)を主成分とする膜を、低酸素雰囲気下で加熱処理することで、450〜3200nmの波長領域において、約80%以上の高い透過率を示す透明導電膜を得ることができる。この透明導電膜の抵抗率は、約3.0×10-3Ωcm以下である。このIZOを主成分とする膜は、本質的にアモルファス状あるいは微結晶よりなり、このような膜はスパッタリング法で製膜される。

請求項（抜粋）：

基板上に付着された、亜鉛-インジウム酸化物を含む透明導電膜を準備するステップと、前記透明導電膜を、低酸素雰囲気中で加熱するステップとを含む、赤外線波長領域における透過率に優れた透明導電膜を有する構造体の製造方法。

IPC (4件)：

H01B 5/14 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/58 ,  H01B 13/00 503

FI (4件)：

H01B 5/14 A ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/58 A ,  H01B 13/00 503 B

Fターム (15件)：

4K029BA50 ,  4K029BB07 ,  4K029BB10 ,  4K029BC09 ,  4K029CA06 ,  4K029EA08 ,  4K029GA01 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05 ,  5G323BC03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 透明導電膜の熱処理方法および透明導電膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-305973   出願人：株式会社東芝