特許
J-GLOBAL ID：200903089579221000
搬送用ロボット
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (1件)：
森 正澄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107853
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296666
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【目的】 超高真空環境下において用いられる搬送用ロボットを改良して、より高い超高真空環境を得ることができる搬送用ロボットを提供すること。【構成】 前進及び後退動作するアーム部2をベースプレート3に備え、少なくともアーム部2が真空環境下の搬送室a内に設けられた搬送用ロボット1において、ベースプレート3を回転駆動させる回転機構部4と、アーム部2を前進及び後退動作させる前後進機構部5と、ベースプレート3及びアーム部2を昇降駆動させる昇降機構部6とを備え、前記回転機構部4、前後進機構部5及び昇降機構部6の各駆動源7,8,9を、前記搬送室aの真空環境から遮断された部位に設けた構成の搬送用ロボットである。
請求項（抜粋）：
前進及び後退動作するアーム部をベースプレートに備え、少なくとも前記アーム部が真空環境下の搬送室内に設けられた搬送用ロボットにおいて、前記ベースプレートを回転駆動させる回転機構部と、前記アーム部を前進及び後退動作させる前後進機構部と、前記ベースプレート及び前記アーム部を昇降駆動させる昇降機構部とを備え、前記回転機構部、前記前後進機構部及び前記昇降機構部の各駆動源を、前記搬送室の真空環境から遮断された部位に設けたことを特徴とする搬送用ロボット。
IPC (4件)：
B25J 9/06
, B25J 18/02
, H01L 21/68
, B65G 49/00
B25J 9/06 D
, B25J 9/06 A
, B25J 18/02
, H01L 21/68 A
, B65G 49/00 A
