特許

J-GLOBAL ID：200903089583408556

ダイヤモンド膜付き超硬基材の製造方法

発明者： 岡村 隆志 ,  飯尾 聡 ,  山本 洋
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 矢野 正行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-194235
公開番号（公開出願番号）：特開平9-020590
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】刃先形状を保ちつつ、超硬基材表面に適正サイズの凹凸を形成し、その上にダイヤモンド膜を気相合成することにより、膜の密着性に優れたダイヤモンド膜付き超硬基材を提供する。【構成】超硬基材を酸性水溶液中で電解エッチングすることにより基材表面に凹凸を形成した後、その基材表面に気相法によりダイヤモンド膜を形成する方法において、単位面積における基材がエッチングされる速度が、深さ方向で、0.2μm/min.以上1.5μm/min.以下であることを特徴とするダイヤモンド膜付き超硬基材の製造方法。

請求項（抜粋）：

超硬基材を酸性水溶液中で電解エッチングすることにより基材表面に凹凸を形成した後、その基材表面に気相法によりダイヤモンド膜を形成する方法において、単位面積における基材がエッチングされる速度が、深さ方向で、0.2μm/min.以上1.5μm/min.以下であることを特徴とするダイヤモンド膜付き超硬基材の製造方法。

IPC (6件)：

C30B 29/04 ,  B23P 15/28 ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/26 ,  C25F 3/02 ,  B23B 27/14

FI (6件)：

C30B 29/04 Q ,  B23P 15/28 A ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/26 ,  C25F 3/02 B ,  B23B 27/14 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ダイヤモンド類被覆部材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-191142   出願人：出光石油化学株式会社
• 特開平3-107460
  
• 特開平3-183774