特許

J-GLOBAL ID：200903089624761460

高周波洗浄装置

発明者： 柴 一彦 ,  小林 照幸 ,  上野 隆
出願人/特許権者： 株式会社プレテック ,  大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-264176
公開番号（公開出願番号）：特開平10-109073
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 伝播水中での高周波音波の透過率を高めて高周波音波を洗浄槽内の洗浄水に効率よく伝播させることが可能な超音波洗浄装置を提供する。【解決手段】 脱気水からなる伝播水3が収容された外槽1と、前記外槽1内に底部が前記外槽1底部から所望距離隔てるように収納され、内部に洗浄液9が収容された洗浄槽10と、前記外槽1に連結された脱気水を生成するための脱気水生成手段14と、前記外槽1の底部に配置され、前記伝播水3を通して前記洗浄液9に高周波音波を付与するための振動板2と、前記振動板2の下面に取着された振動子4と、この振動子4を駆動するための高周波発振器5とを具備したことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

脱気水からなる伝播水が収容された外槽と、前記外槽内に底部が前記外槽底部から所望距離隔てられ、かつ前記外槽内の伝播水に接触した状態で収納され、内部に洗浄液が収容された洗浄槽と、前記外槽に連結された脱気水を生成するための脱気水生成手段と、前記外槽の底部に配置され、前記伝播水を通して前記洗浄液に高周波音波を付与するための振動板と、前記振動板の下面に取着された振動子と、この振動子を駆動するための高周波発振器とを具備したことを特徴とする高周波洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/12 ,  B01D 19/00 101 ,  B08B 3/10 ,  H01L 21/304 341

FI (4件)：

B08B 3/12 A ,  B01D 19/00 101 ,  B08B 3/10 Z ,  H01L 21/304 341 M

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 超音波加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-008485   出願人：柴野佳英