特許

J-GLOBAL ID：200903089630278992

無人搬送車におけるダスト侵入防止装置

発明者： 珍部 弘 ,  福渡 一郎
出願人/特許権者： 日立機電工業株式会社
代理人 (1件)： 森 治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-145168
公開番号（公開出願番号）：特開平9-301162
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：

【要約】【課題】 無人搬送車の車体下部に排気ファンを設けて床面から発生するダストを下部気密室内に吸引し走行路の近傍に設けた排気口よりダウンフローと共に排出してダストを正圧とした上部気密室の搬送物収納室内に侵入するのを防止すことができる無人搬送車におけるダスト侵入防止装置を提供する。【解決手段】 無人搬送車1を、上部気密室3と下部気密室10の上下に分割し、下部気密室10を負圧となるように排気ファン11にて制御し、該排気ファン11により走行床8面から発生し上昇するダスト9を、下部気密室10に設けた吸入口より吸引して、床下の排気口16から排出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

無人搬送車を、上部気密室と下部気密室の上下に分割し、下部気密室を負圧となるように排気ファンにて制御し、該排気ファンにより走行床面から発生し上昇するダストを、下部気密室に設けた吸入口より吸引して、床下の排気口から排出することを特徴とする無人搬送車におけるダスト侵入防止装置。

IPC (5件)：

B61D 27/00 ,  B62B 5/00 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68 ,  F24F 7/06

FI (6件)：

B61D 27/00 S ,  B62B 5/00 E ,  B62B 5/00 Z ,  H01L 21/02 D ,  H01L 21/68 A ,  F24F 7/06 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• クリ-ンル-ム用搬送車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-143948   出願人：株式会社日立製作所
• クリーン装置付き台車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-195714   出願人：株式会社ダイフク
• 特開昭63-304640
  
• 無人搬送車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-168456   出願人：村田機械株式会社