特許
J-GLOBAL ID：200903089651722744

熱転写成形方法及び熱転写成形装置

発明者：
菊池 勝市

菊池 勝市 について


出願人/特許権者：
安田工機株式会社

安田工機株式会社 について


代理人 (2件)： 後藤 憲秋 ,  武石 裕美子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-348047
公開番号（公開出願番号）：特開2008-155521
出願日： 2006年12月25日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】被加工材を均一に押圧して安定した転写を実施することができる熱転写成形方法及び熱転写成形装置を提供する。【解決手段】固定熱板21の上部にダイヤフラム部材50を配置してチャンバー40を固定側チャンバー41と可動側チャンバー46に区画するとともに、前記固定側チャンバー41及び可動側チャンバー46を減圧した後、前記固定チャンバー41を加圧しかつ前記可動チャンバー46を減圧することによって、前記ダイヤフラム部材50を介して被加工材M及びパターン形成手段Sを一体かつ均一に加熱押圧して成形することを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
可動熱板を有する可動側部材の前進時に固定熱板を有する固定側部材との間に形成されるチャンバー内の前記固定熱板と可動熱板との間に被加工材をパターン形成手段とともに配置し、前記チャンバー内を減圧して前記被加工材を加熱加圧しその表層に前記パターン形成手段によるパターンを熱転写成形するに際して、 前記固定熱板の上部にダイヤフラム部材を配置して前記チャンバーを固定側チャンバーと可動側チャンバーに区画するとともに、前記固定側チャンバー及び可動側チャンバーを減圧した後、前記固定チャンバーを加圧しかつ前記可動チャンバーを減圧することによって、前記ダイヤフラム部材を介して前記被加工材及び前記パターン形成手段を一体かつ均一に加熱押圧して成形することを特徴とする熱転写成形方法。
IPC (4件)：
B29C 59/02 ,  B29C 43/02 ,  B29C 43/56 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
B29C59/02 B ,  B29C43/02 ,  B29C43/56 ,  H01L21/30 502D
Fターム (22件)：
4F204AD08 ,  4F204AF01 ,  4F204AG05 ,  4F204AM28 ,  4F204FA01 ,  4F204FB01 ,  4F204FN11 ,  4F204FN15 ,  4F204FQ15 ,  4F209AD08 ,  4F209AJ08 ,  4F209AM28 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN03 ,  4F209PN04 ,  4F209PN06 ,  4F209PN07 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ12 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 2006-167788号公報
審査官引用 (5件)
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