特許

J-GLOBAL ID：200903089667054350

紫外線センサ及びその製造方法

発明者： 大平 重男 ,  新井 直樹 ,  國分 義弘
出願人/特許権者： 日本軽金属株式会社
代理人 (1件)： 岡田 萬里
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-123885
公開番号（公開出願番号）：特開2008-282881
出願日： 2007年05月08日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：

【課題】バンドギャップの大きい物質の薄膜を安価な手段で作製し、小型・簡便な固体素子型の火炎センサとして利用可能な紫外線センサを提供する。【解決手段】酸化ガリウム単結晶を基板して当該基板上にゾル-ゲル法で酸化ガリウム薄膜を形成し、この酸化ガリウム薄膜上に少なくとも1対の表面電極を備えるか、或いは酸化ガリウム単結晶基板とこの基板上に形成された酸化ガリウム薄膜とにそれぞれ第1の電極と第2の電極とを形成する。 酸化ガリウム薄膜は、150〜500nmの厚さを有するものが好ましい。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

酸化ガリウム単結晶基板と、当該基板上に形成された酸化ガリウム薄膜と、当該酸化ガリウム薄膜上に形成された少なくとも1対の表面電極を備えていることを特徴とする紫外線センサ。

IPC (1件)：

H01L 31/026

FI (1件)：

H01L31/08 M

Fターム (7件)：

5F088AA11 ,  5F088AB07 ,  5F088BA18 ,  5F088BB10 ,  5F088CB01 ,  5F088CB11 ,  5F088LA05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 紫外線受光デバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-142975   出願人：出光石油化学株式会社
• 特許第3560462号公報