特許

J-GLOBAL ID：200903089728959378

精密加工装置

発明者： 江田 弘 ,  中野 博民 ,  田島 琢二 ,  渡部 和
出願人/特許権者： 江田 弘 ,  中野 博民 ,  日立ビアメカニクス株式会社
代理人 (1件)： 田中 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-152833
公開番号（公開出願番号）：特開2001-328065
出願日： 2000年05月24日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】【目的】本発明は、例えばシリコンウェハ等、極めて精密な形状精度と仕上面粗さを必要とする物品の加工を行なうための装置に係わるものである。【構成】微細送りプレートおよび姿勢制御プレートよりなる変位テーブルと、精密移動テーブルとを有し、前記変位テーブルあるいは前記精密移動テーブルのいずれか一方の上には砥石とその回転装置が載置され、他の一方にはワークとその回転装置が載置され、砥石軸とワーク軸とは水平方向に対抗するように配置されてなり、砥石とワークとの位置決めおよび微細送りを前記精密移動テーブルの移動と前記変位テーブルの変位とで行ない、砥石軸とワーク軸とのズレの補正を前記変位テーブルに具備された姿勢制御機構を作動させて行なうことを特徴とする精密加工装置である。

請求項（抜粋）：

微細送りプレートおよび姿勢制御プレートよりなる変位テーブルと、精密移動テーブルとを有し、前記変位テーブルあるいは前記精密移動テーブルのいずれか一方の上には砥石とその回転装置が載置され、他の一方にはワークとその回転装置が載置され、砥石軸とワーク軸とは水平方向に対抗するように配置されてなり、砥石とワークとの位置決めおよび微細送りを前記精密移動テーブルの移動と前記変位テーブルの変位とで行ない、砥石軸とワーク軸とのズレの補正を前記変位テーブルに具備された姿勢制御機構を作動させて行なうことを特徴とする精密加工装置。

IPC (4件)：

B24B 41/047 ,  B24B 7/02 ,  B24B 41/06 ,  B24B 49/10

FI (4件)：

B24B 41/047 ,  B24B 7/02 ,  B24B 41/06 L ,  B24B 49/10

Fターム (15件)：

3C034BB32 ,  3C034BB37 ,  3C034BB42 ,  3C034CB01 ,  3C034CB08 ,  3C034DD09 ,  3C034DD10 ,  3C043BA02 ,  3C043BA08 ,  3C043BA09 ,  3C043BA12 ,  3C043BA16 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05 ,  3C043DD06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 工作機械および工具の姿勢制御システム並びに研削システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-121960   出願人：畑村洋太郎
• 精密平面加工機械
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-315259   出願人：茨城県
• 特開昭62-124842
  
• 特開平4-333108