特許

J-GLOBAL ID：200903089742649810

真空チャックの吸着板及びその製造方法

発明者： 内田 孝二 ,  伊藤 雅
出願人/特許権者： シーケーディ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-031680
公開番号（公開出願番号）：特開平11-226833
出願日： 1998年02月13日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】吸着時における吸着面の平坦度を向上させ、以って吸着時における被吸着物の変形を最小限にとどめることができる真空チャックの吸着板を得る。【解決手段】表面が平坦に形成されかつ表裏両面に連通する多数の透孔を有する多孔質体にて形成された吸着板4の外周部に空気の流通を遮断する非通気層4aを形成し、吸着板4の裏面から空気を吸引することにより表面の吸着面4cに被吸着物Wを吸着するように構成する。この吸着板4の表面のうち非通気層4aを除く外周領域には、非通気層4aに連続して吸着板4の厚さよりも薄くかつ吸着面4cと面一となる非通気性のシール部4dを形成した。従って、被吸着物Wをその外周部がシール部4dの内周側に差し掛かるように配置すれば、吸着時に被吸着物Wが変形することが殆どなくなる。

請求項（抜粋）：

表面が平坦に形成されかつ表裏両面に連通する多数の透孔を有する多孔質体にて形成された吸着板を、その外周面と外部との空気の流通を禁止した状態で、裏面から空気を吸引することにより表面に被吸着物を吸着する真空チャックの吸着板において、前記吸着板の表面の外周領域には、吸着板の厚さよりも薄くかつ吸着板の表面と面一となる非通気性のシール部を設けた真空チャックの吸着板。

IPC (7件)：

B23Q 3/08 ,  B29C 67/20 ,  H01L 21/68 ,  B29K 27:12 ,  B29K105:04 ,  B29K483:00 ,  B29L 7:00

FI (4件)：

B23Q 3/08 A ,  B29C 67/20 E ,  B29C 67/20 R ,  H01L 21/68 P

引用特許：

審査官引用 (4件)

• チャックテーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-339890   出願人：株式会社ディスコ
• 特開平4-067940
  
• 真空吸着保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-170153   出願人：京セラ株式会社
• 特開平4-067940