特許

J-GLOBAL ID：200903089749027971

超大型基板用カセット

発明者： 吉澤 武徳 ,  岡田 勝實
出願人/特許権者： シャープ株式会社 ,  スターライト工業株式会社
代理人 (1件)： 柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-205043
公開番号（公開出願番号）：特開2004-042984
出願日： 2002年07月15日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】例えば1350mm×1650mm以上、厚さ0.7mm以下の非常に大きなガラス基板又は合成樹脂製のフィルム状基板を、収容効率が高く、安定に支持して収容することが可能であるとともに、基板出入用ロボットでの出し入れが容易である超大型基板用カセットを提供する。【解決手段】上下方向に所定間隔毎に基板Sを載支する棚片6を突設した複数の支持体3を、上枠体1と下枠体2間に連結して直方体状の箱型構造となした超大型基板用カセットであって、棚片6は、基板を収容するカセットの有効幅をW、棚片の突出長さをLとすると、1/4<L/W<1/2なる関係に設定した。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

上下方向に所定間隔毎に基板を載支する棚片を突設した複数の支持体を、上枠体と下枠体間に連結して直方体状の箱型構造となした超大型基板用カセットであって、前記棚片は、前記基板を収容するカセットの有効幅をW、該棚片の突出長さをLとすると、1/4<L/W<1/2なる関係に設定したことを特徴とする超大型基板用カセット。

IPC (2件)：

B65D85/86 ,  H01L21/68

FI (2件)：

B65D85/38 R ,  H01L21/68 V

Fターム (27件)：

3E096AA06 ,  3E096BA20 ,  3E096BB05 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096DA03 ,  3E096DA23 ,  3E096DB01 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02Y ,  3E096EA06X ,  3E096EA10Y ,  3E096EA20Y ,  3E096FA01 ,  3E096FA10 ,  3E096GA11 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA01 ,  5F031EA02 ,  5F031EA03 ,  5F031EA04 ,  5F031EA06 ,  5F031EA19 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• カセット用長尺リブおよび基板用カセット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-267930   出願人：淀川化成株式会社, シャープ株式会社