プローブ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-250261
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102318
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】本発明は,電子回路を動作状態で試験する検査装置に関し,特に平面上に形成された微細配線に印加される電圧の測定装置に関し,装置を大型化するようなことなく, サブミクロン幅の微細配線を高速に測定でき, なお且つ配線に電圧を印加する機能をもつプローブ装置を提供することを目的とする。【構成】配線に接触することができる導電性針と,該導電性針に接続された導電性カンチレバーと,光導電ゲート部を形成する光導電体膜と,該光導電体膜の一部に接触し,該カンチレバーに接続する第1の導電体と,該第1の導電体に対向して,該光導電体膜の一部に接触する第2の導電体とを有するように構成する。

請求項（抜粋）：

平面に形成された微細配線に接触して,印加されている電圧を測定するプローブ装置において,配線に接触することができる導電性針と,該導電性針に接続された導電性カンチレバーと,光導電ゲート部を形成する光導電体膜と,該光導電体膜の一部に接触し,該カンチレバーに接続する第1の導電体と,該第1の導電体に対向して,該光導電体膜の一部に接触する第2の導電体と,を有することを特徴とするプローブ装置。

IPC (3件)：

G01R 31/28 , G01R 1/073 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-182767
特開平3-199904
特開平1-214078

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